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Triton 40:桌面型多功能等离子设备
文章来源:handler 时间:2018-05-02 03-55-46
应用领域

表面清洁与活化

• 材料表面有机污染物的去处

• 去处纳米级金属氧化层

• 增强表面胶体流动性,消除涂层、塑封料的分层

• 提升表面能,实现难粘材料的有效结合

• 表面粗化与微蚀:消除表面应力,使材料更易结合。

表面粗化及微刻蚀

• 纳米级表面粗化,应力释放。

• 光刻胶去除

• 对多种材料的选择性刻蚀

设备特点

• 设计紧凑的桌面型等离子工艺平台,易于与厂务端连接

• 可靠的腔体结构设计,确保工艺腔体具备一流的气密性与耐用性

• 优秀的进气、排气设计,保证工艺过程的均匀性

• 支持多种电极形式与最多4路工艺气体,适用于处理各种产品并适应多种工艺要求

• 直观的图形控制界面,通过触屏可实时观察、控制工艺过程

• 13.56MHz射频电源与自动匹配系统,具有优异的稳定性和可重复性

Triton40 标准技术规格
设备尺寸宽*深*高635W x 860D x 690H mm
腔体尺寸340W x 456D x 280H mm
容积43L
最大电极数量8
电极间距57mm
电极功率电极尺寸226W x 320D mm
接地电极尺寸1300W x 320D mm
射频系统射频功率及频率300W/13.56MHz
气体控制气路配置标配两路 / 最多可扩充至4路气体
真空泵标准配置25m³/h 油泵
厂务要求供电要求220V, 10A, 50Hz, Single-Phase, 13AWG, 3-Wire
工艺气体接口及尺寸1/4英寸卡套接口
工艺气体种类及纯度

CF4 = 99.97%; O2 = 99.996%;  N2 = 99.99%;

Ar = 99.999%;  其余气体请咨询JETPLASMA

工艺气体压力15~20 psig
吹扫气体接口及尺寸1/4英寸卡套接口
吹扫气体种类及纯度N2=99.99%
吹扫气体压力15-60 psig
气动用接口及尺寸1/4英寸卡套接口
气动用气体及压力CDA, 60~90 psig
排气口接口及尺寸KF25
环境温度5~40℃
相对湿度40~60%
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