欢迎来到本公司官方网站!


联系我们
全国服务热线:13823551259

深圳市驰扬科技有限公司

联系人:程先生  

电话:13823551259  0755-86325272

邮箱:chengzhongguang@chi-yang.com

网址:www.chi-yang.com

地址:深圳市南山区西丽云谷二期11栋501

网站首页 » 推拉力测试机 » 等离子清洗机 » 全自动等离子处理系统
全自动等离子处理系统
文章来源:handler 时间:2018-05-02 03-54-32
应用领域

• 金属键合前处理:通过等离子处理去除焊盘表面的金属氧化层,提升后续键合工艺的良率与结合力。

• 塑封前处理 : 经由等离子活化样品表面,提升塑封料的结合力,减少分层、空洞等不良的产生。

• 底部填充前处理: 等离子活化提升胶体在表面的流动性,消除空洞与气泡,增强填充效果。

• 光刻胶去除: 去除表面残胶,形成清洁、活化的表面。

• 表面粗化与微蚀:消除表面应力,使材料更易结合。

运作特点

• 工艺腔体处理效率高,均匀性好。

• 产能高,故障率低。

• 结构紧凑,占地面积小。

• 稳定耐用,易于维护。

• PLC与工程机提供稳定的过程控制,操作简单。


Hestia  标准技术规格
设备尺寸宽*深*高1550W x 1230D x 1760H mm -- 2050H mm 带信号灯高度
腔体容积5L
电极电极尺寸334W x 334D mm
射频系统射频功率及频率500W/13.56MHz
气体控制气路配置标配两路 / 最多可扩充至4路气体
真空泵标准配置28m³/h干泵
干泵吹扫氮气流量5-25L/min
厂务要求供电要求220V, 25A, 50Hz, Single-Phase, 9AWG ,5-Wire
工艺气体接口及尺寸1/4英寸卡套接口
工艺气体种类及纯度

CF4 = 99.97%; O2 = 99.996%;  N2 = 99.99%;

Ar = 99.999%;  其余气体请咨询JETPLASMA


工艺气体压力15~20 psig
吹扫气体接口及尺寸1/4英寸卡套接口
吹扫气体种类及纯度N2=99.99%
吹扫气体压力10-60 psig
气动用接口及尺寸1/4英寸卡套接口
气动用气体及压力CDA, 60~90 psig
排气口接口及尺寸KF25
环境温度5~40℃
相对湿度40~60%
网站首页关于我们产品中心新闻资讯在线留言人才招聘联系我们
深圳市驰扬科技有限公司  版权所有  电脑版 | 手机版